Axcelis技術公司推出的Optima HD是一種離子灌注器，可用于大流量灌注及亞65nm器件制造等場合。這種新型低能大劑量系統可提供200eV至80KeV能量，支持新興雙聚乙烯門和絕緣硅的分子和氫灌注。

Optima HD采用點束技術進行灌注，可確保晶圓上所有點從相同角度都能看到同一光束。此外，該系統還使用Axcelis的專有RadiusScan技術，提高產量，劑量覆蓋范圍更廣，可滿足傳統及新興高劑量灌注的要求。

該公司有望于2006年第二季度推出該系統。