1. gzyueqian
      13352868059
      首頁 > 新聞中心 > > 正文

      Axcelis推出用于亞65nm制造的離子灌注器

      更新時間: 2006-02-08 09:02:44來源: 粵嵌教育瀏覽量:3085

      Axcelis技術公司推出的Optima HD是一種離子灌注器,可用于大流量灌注及亞65nm器件制造等場合。這種新型低能大劑量系統可提供200eV至80KeV能量,支持新興雙聚乙烯門和絕緣硅的分子和氫灌注。

      Optima HD采用點束技術進行灌注,可確保晶圓上所有點從相同角度都能看到同一光束。此外,該系統還使用Axcelis的專有RadiusScan技術,提高產量,劑量覆蓋范圍更廣,可滿足傳統及新興高劑量灌注的要求。

      該公司有望于2006年第二季度推出該系統。

      免費預約試聽課

      亚洲另类欧美综合久久图片区_亚洲中文字幕日产无码2020_欧美日本一区二区三区桃色视频_亚洲AⅤ天堂一区二区三区

      
      

      1. 亚洲国产人在线 | 亚洲天堂久久精品 | 亚洲精品视频福利网 | 日韩亚洲人成网站在线观看 | 日本中文字幕视频久 | 日韩精品肥臀蜜桃一区二区自在线拍 |