Axcelis技術公司推出的Optima HD是一種離子灌注器,可用于大流量灌注及亞65nm器件制造等場合。這種新型低能大劑量系統可提供200eV至80KeV能量,支持新興雙聚乙烯門和絕緣硅的分子和氫灌注。
Optima HD采用點束技術進行灌注,可確保晶圓上所有點從相同角度都能看到同一光束。此外,該系統還使用Axcelis的專有RadiusScan技術,提高產量,劑量覆蓋范圍更廣,可滿足傳統及新興高劑量灌注的要求。
該公司有望于2006年第二季度推出該系統。
更新時間: 2006-02-08 09:02:44來源: 粵嵌教育瀏覽量:3085
Axcelis技術公司推出的Optima HD是一種離子灌注器,可用于大流量灌注及亞65nm器件制造等場合。這種新型低能大劑量系統可提供200eV至80KeV能量,支持新興雙聚乙烯門和絕緣硅的分子和氫灌注。
Optima HD采用點束技術進行灌注,可確保晶圓上所有點從相同角度都能看到同一光束。此外,該系統還使用Axcelis的專有RadiusScan技術,提高產量,劑量覆蓋范圍更廣,可滿足傳統及新興高劑量灌注的要求。
該公司有望于2006年第二季度推出該系統。