據市場調研公司Gartner統計，2005年全球半導體制造設備銷售額總計為345億美元，比2004年的386億美元下降10.7%。Gartner將其歸昝于產能增長減速，且65納米技術初步投產。

       “半導體制造設備市場在2005年下滑，是諸多因素共同作用的結果，這些因素導致市場對于新產能的需求放緩。”Gartner半導體制造與設備研究部門副執行總裁Klaus Rinnen表示，“2005年上半年庫存過剩導致廠商減產，而需求增長放緩則推動2005年初產能利用率下降，終導致產業陷入供應過剩的局面。當然，好于預期的宏觀經濟形勢促進了終端用戶的需求，使得產業在2005年中期擺脫了庫存過剩的局面。”

       10大半導體制造設備廠商的銷售額多數下滑，與總體市場形勢一致。KLA-Tencor和ASML公司的表現則是個例外，它們的銷售額分別增長了5.6%和1.9%。

       從地域分布來看，亞太地區在2004年實現高速增長之后，2005年下降了20個百分點。2004年這些地區的市場份額占據全球的50%以上，而到2005年份額下降到44.5%。日本地區經過前年的48.4%的健康增長之后，其2005年半導體制造設備走勢基本平穩。歐洲地區的半導體制造資本支出在2005年下降1個百分點，除了英特爾和AMD分別在愛爾蘭和德國擴大了生產制造規模之外，歐洲各公司都繼續擁至歐洲以外地區進行投資。美洲地區半導體制造市場增長了9%，各個制造領域的規模都有所擴大。

       Gartner預計2006年半導體制造市場將恢復正增長，并將其資本支出的預測增長率從目前的8.4%抬高至2位數的增長。

       “我們樂觀看2006年的同時，也保持謹慎態度——如果目前的這些預期不能實現，存儲領域產能過剩的風險可能會更大。”Rinnen表示，“存儲領域的產能增長在2006年依然火熱，但同時也是脆弱的領域。”